[发明专利]用于装配在光阻涂布机上的旋转马达在审
| 申请号： | 202010263705.8 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111399341A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 尹安和 | 申请（专利权）人： | 芯米（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;H02K1/27;H02K5/16;H02K11/21 |
| 代理公司： | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人： | 吴圳添 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种用于装配在光阻涂布机上的旋转马达，包括：马达本体，所述马达本体内部具有磁铁以及线圈组，所述线圈组围绕在所述磁铁外围，所述磁铁和所述线圈组之间留有间隙以供所述磁铁旋转；真空腔，所述真空腔设置于所述马达本体下方，所述真空腔连接抽气管；转轴，所述转轴中心呈中空，所述转轴插设于所述磁铁中心且向上延伸至所述马达本体外，所述转轴下端向下延伸至所述真空腔内；转盘，所述转盘可拆卸地套合在所述转轴上；所述转轴在所述马达本体内部上方的位置采用第一轴承固定；所述转轴在所述马达本体内部下方的位置采用第二轴承固定。所述旋转马达可以装配在光阻涂布机上，且稳定性高。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装配 光阻涂布机上 旋转 马达 | ||
【主权项】：
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