[发明专利]一种颗粒形态可控的硅溶胶及其制备方法有效
| 申请号： | 202010264209.4 | 申请日： | 2020-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN111470510B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 朱斌;仵靖 | 申请（专利权）人： | 石家庄优士科电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/145 | 分类号： | C01B33/145;C01B33/146;C01B33/141;C09K3/14;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 河北国维致远知识产权代理有限公司 13137 | 代理人： | 墨伟 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市高*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体化学机械抛光技术领域，具体公开一种颗粒形态可控的硅溶胶及其制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：配制若干组烷氧基硅烷质量含量≥95％的酸性组合液和含有碱催化剂、高纯水及有机溶剂的母液；将一组所述酸性组合液加入到所述母液中，得第一硅溶胶；至少一次地向所得第一硅溶胶中依次加入高纯水、一组所述酸性组合液，得硅溶胶一次液；浓缩和溶剂置换，得到硅溶胶产品。本发明提供的制备方法通过调控烷氧基硅烷的酸性组合液的酸值，并调节加入的各组酸性组合液的酸值的变化，实现了硅溶胶颗粒形态的可控，得到了球形和非球形的硅溶胶，所得硅溶胶的一次固含10％，金属离子含量1ppm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 颗粒 形态 可控 硅溶胶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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