[发明专利]内表面具刻面的固定环和包括该固定环的承载头有效
| 申请号： | 202010266127.3 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN111451929B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 吴正勋;史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·沙善·丹达瓦特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32;B24B37/04;B24B37/10;B24B41/06;H01L21/321;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 固定环包括大体环状主体。该主体包括顶表面、底表面、外表面及内表面，该外表面在外顶部周边处与顶表面连接及在外底部周边处与底表面连接，该内表面在内顶部周边处与该顶表面连接及在内底部周边处与底表面连接。内表面包含七或七个以上的平坦刻面。邻近的平坦刻面于角(corner)处连接。内底部周边包含于角处连接的平坦刻面的直边。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 具刻面 固定 包括 承载 | ||
【主权项】：
暂无信息
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