[发明专利]基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法

摘要

本申请公开一种基板翘曲度检测监控设备及检测监控方法，所述基板翘曲度检测监控设备包括：放置待检测基板的载台；与所述载台垂直设置的检测装置；控制所述检测装置位移的控制系统；对所述检测装置的检测数据进行分析的工程数据分析系统；以及，根据设定的对所述基板的品质进行监控的监控需求自动从所述工程数据分析系统载入数据的统计制程管控系统；其中，所述基板上设置有至少两个测量点位，所述检测装置对应每个所述测量点位进行量测，并将测量结果上传至所述工程数据分析系统得到所述基板的翘曲度信息，便于所述统计制程管控系统根据设定的需求对所述基板的品质进行监控，以实现对基板翘曲度的自动检测和实时监控，节省成本。