[发明专利]一种适用于高PPI的精细金属掩膜板制作方法有效
| 申请号： | 202010270343.5 | 申请日： | 2020-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN111364002B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 隋鑫;宋平;晁亮;尹小江 | 申请（专利权）人： | 山东奥莱电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 山东舜源联合知识产权代理有限公司 37359 | 代理人： | 于晓晓 |
| 地址： | 276800 山东省日*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及金属掩模板制作技术领域，具体涉及一种适用于高PPI的精细金属掩膜板制作方法。包括如下制作步骤：(1)根据高PPI像素的排列，制备与之对应的低PPI精细金属掩膜板；(2)使用张网机将低PPI掩膜张网并焊接到框架上，制成半成品精细金属掩膜板，张网完成后对掩膜进行涂覆PI，形成膜层；(3)使用曝光机对涂覆PI后的半成品进行曝光即图形定义，再进行显影完成图形显现，在原有的大开口内加工了小开口,形成高PPI掩膜板开口效果。本发明先通过张网简单的低PPI掩膜制品，然后再经过涂覆PI和曝光显影形成较小的高PPI开口，以实现高PPI掩膜板张网。达到高PPI的开孔效果，且避免了蚀刻高PPI掩膜时产生的良率低、原材料薄、蚀刻困难等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 ppi 精细 金属 掩膜板 制作方法 | ||
【主权项】：
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