[发明专利]一种低温探针台的工件容载腔体在审
申请号: | 202010271087.1 | 申请日: | 2020-04-08 |
公开(公告)号: | CN113495352A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 黄晓婷 | 申请(专利权)人: | 上海柯舜科技有限公司 |
主分类号: | G02B21/26 | 分类号: | G02B21/26;G02B21/24 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 邓文武 |
地址: | 201501 上海市金山*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种低温探针台的工件容载腔体,涉及低温探针台技术领域,支杆末端均嵌入设置于腔体内侧,且载物台外壁四侧均开有开口,对工件的四侧进行稳固,工件不会出现滑动甚至是掉落出载物台的情况,并且不妨碍正常的检测工作,撑板前端开有滑道,且撑板前端滑动连接有连接板,连接板后端固定有与其为一体的滑块,且滑块位于滑道内部并与滑道滑动连接,通过连接板支撑显微镜的上下移动,便于检测人员使用显微镜对工件进行观察,解决了工件在进行低温探针时不便于被固定好,以致于在工作时工件出现移动甚至是掉落的情况,造成工作的不便,并且工作中需要运用到显微镜对工件进行观察,显微镜不易垂直对工件进行成像的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 低温 探针 工件 容载腔体 | ||
【主权项】:
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