[发明专利]多带电粒子束描绘装置以及多带电粒子束描绘方法在审
| 申请号： | 202010273449.0 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111812947A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 饭塚修 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘英华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法。实施方式的多带电粒子束描绘装置具备：测定部，基于多束的各束的束电流或者从设置于载置台的反射标记反射的带电粒子的强度，测定所述多束的第1束形状；调整部，基于所述第1束形状，计算出所述多束的缩小率及旋转角的调整量；校正映射制作部，根据基于所述调整量的束形状与所述第1束形状的差量，制作规定了所述多束的各束的位置偏移量的第1校正映射；描绘数据处理部，对描绘数据进行变换，生成定义了各束的照射量的发射数据，基于所述第1校正映射，校正在所述发射数据中定义的各束的照射量；以及控制部，基于所述调整量，控制所述多束的缩小率及旋转角。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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