[发明专利]一种实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法

摘要

本发明公开了一种实现太阳能电池转换效率最大化的激光开槽制作方法，涉及钝化发射极和背面电池(PERC)领域，其特征在于，包括以下步骤：1)将硅片进行清洗和制绒，并进行POCl3扩散；2)将所述硅片进行背面抛光、去除PN结，然后经过热氧化处理，沉积Al2O3薄膜，并在所述硅片的正面和背面沉积SiNx:H减反射膜，形成第一样片；3)在所述第一样片的背面进行激光开槽，形成第二样片；4)采用丝网印刷为所述第二样片印刷背面铝浆、正面银电极和背面银电极，最终经过烧结制成太阳能电池。本发明改善了太阳能电池背面的钝化效果和背面电流的收集能力，实现了复合损失与填充因子提升的平衡，大幅度提升了太阳能电池的光电性能。