[发明专利]一种靶材平面度检测工具及其加工方法在审
| 申请号： | 202010286232.3 | 申请日： | 2020-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN111451725A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;钱百峰 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00;G01B5/28 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材平面度检测工具及其加工方法，所述方法包括：选取刚材依次进行切割、焊接及磨削，得到所述平面度检测工具；所述检测工具的平面度小于0.03mm；所述检测工具的平行度小于0.03mm。本发明所制备得到的检测工具，检测效率高，使用方便，可以随时随地进行检测，效率大幅提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 检测工具 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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