[发明专利]一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用

摘要

本发明提供了一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用，由以下重量百分比的原料制成：金刚石磨料15‑45%、预合金粉15‑60%、聚四氟乙烯20‑45%、氧化铈3‑15%、润湿剂0.5‑6%。本发明中所用合金体系为Ga‑Cu‑Sn，在合金体系中加入镓低熔点元素，合金粉成型温度低，解决了树脂金属结合剂异相成型的难题。镓金属的加入，发生共晶反应生成高富镓高脆性相β、δ，实现了传统合金体系由硬韧向高脆性的转变，提高结合剂体系自锐性。复合结合剂兼具二者优势，金属结合剂形成骨架提高强度和硬度，树脂粉的存在增加了磨具的弹性，降低磨削过程中的抗冲击性，提升碳化硅片的表面质量。