[发明专利]一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法在审
| 申请号： | 202010290061.1 | 申请日： | 2020-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN111607776A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈牧 | 申请（专利权）人： | 陈牧 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 温宏梅 |
| 地址： | 100095 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种连续型真空镀膜生产设备及其生产方法，所述生产设备包括：多个依次呈直线型连接的镀膜工艺腔室、至少一套传输装置和至少一套控制装置；所述运输装置用于运输基材依次通过各个镀膜工艺腔室；控制装置用于按照预设控制程序控制所述传输装置在各个镀膜工艺腔室之间移动，以及按照制程控制所述多个镀膜工艺腔室对传输至其腔室内的基材进行镀膜。本实施例通过将各个镀膜工艺腔室设计为直线型结构连接，用于固态超薄锂电池、变色调光玻璃等产品的一次性真空成型，以及用于各个镀膜工艺腔室的模块化增/减/调换顺序的设计，因此本发明所提供的生产设备及其生产方法可取得较佳的功能薄膜产品一致性、重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 真空镀膜 生产 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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