[发明专利]一种高精度芯片塑封设备及其使用方法在审
申请号: | 202010290546.0 | 申请日: | 2020-04-14 |
公开(公告)号: | CN111430274A | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 吴东京 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 314000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,属于电子设备领域,一种高精度芯片塑封设备及其使用方法,包括工作台、进给输送带、塑封模具和塑封设备等部件,对塑封模具进行抽真空处理,通过进给输送带带动塑封模具在工作台上移动,由塑封设备进行封层塑封,它可以实现在塑封时对引脚进行夹持保护,降低引脚变形的风险,且通过固定引脚来保持塑封时芯片的位置,预防芯片在封装时发生偏移,在塑封时采用定量多层封装,避免芯片单次封装时表面环境变化过大导致芯片破裂失效,在塑封前对塑封模具进行抽真空处理,以防止塑封时出现空洞现象,更能够避免空气中的粉尘对塑封的影响,提高了芯片的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 芯片 塑封 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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