[发明专利]显影设备

摘要

本申请公开了一种显影设备，包括与基板侧壁相抵接的至少一支撑块，支撑块包括由依次平滑连接的第一凹形曲面、尖端及第二凹形曲面构成的复合曲面及第一平面，尖端包括依次平滑连接的第一面、接触面及第二面；第一面与第一凹形曲面平滑连接，接触面用于接触基板的一侧壁，第一面与第二凹形曲面平滑连接；第一面及第二面任意位置上的切面在沿基板侧壁延伸方向上的斜率的绝对值大于1；在第一凹形曲面自尖端延伸至第一平面的过程中，第一凹形曲面的曲率逐渐减小；在第二凹形曲面自尖端延伸至第一平面的过程中，第二凹形曲面的曲率逐渐减小。本申请利用支撑块的复合曲面的平滑作用，使得显影液在流经支撑块时不因发生回流而导致过显影现象。