[发明专利]一种超快电流探测装置及脉冲测试系统有效
申请号: | 202010313928.0 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN111487452B | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 王娟娟;曾传滨;倪涛;孙佳星;罗家俊;韩郑生;王玉娟;张煦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G01R19/00 | 分类号: | G01R19/00;G01R29/02;G01R1/30 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及高频电流探测技术领域,尤其涉及一种超快电流探测装置及脉冲测试系统,该装置包括:输入、输出、探测同轴连接器、阻抗匹配电路;阻抗匹配电路包括三端,第一端通过输入同轴连接器连接脉冲发生装置,第二端通过输出同轴连接器经传输线连接被测装置,且第二端通过输出同轴连接器经传输线连接探测接收装置的第一采集端,第三端通过该探测同轴连接器连接探测接收装置的第二采集端,该阻抗匹配电路的输入阻抗与阻抗匹配电路的输出阻抗、该脉冲发生装置的输出阻抗、该探测接收装置的第一采集端的第一阻抗以及第二采集端的第二阻抗,均与该脉冲测试系统的特征阻抗相等,可精确探测经过该超快电流探测装置的脉冲信号。 | ||
搜索关键词: | 一种 电流 探测 装置 脉冲 测试 系统 | ||
【主权项】:
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