[发明专利]数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置在审
申请号: | 202010314839.8 | 申请日: | 2020-04-20 |
公开(公告)号: | CN111457855A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 吴思进;吴凡;李伟仙 | 申请(专利权)人: | 北京信息科技大学 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100192 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及一种数字散斑干涉系统的测量精度确定方法及装置。所述方法包括:采用激光双频干涉仪监控物面绕偏摆轴执行多次偏摆,其中,所述物面绕所述偏摆轴每次偏摆的角度为第一预设角度;采用数字散斑干涉系统测量所述物面中的目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变;根据所述第一预设角度和所述目标观测点每次偏摆对应的第一面外形变,确定所述数字散斑干涉系统的面外形变测量精度。本公开可以实现对数字散斑干涉系统的面外形变测量的精度评价,进而可以在面外形变测量时有效实现对数字散斑干涉系统的标定和校准。 | ||
搜索关键词: | 数字 干涉 系统 测量 精度 确定 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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