[发明专利]一种再生晶圆加工的处理装置

摘要

本发明属于再生晶圆技术领域，尤其是一种再生晶圆加工的处理装置，针对再生晶圆加工过程中的去除作业会污染周围设备且效果差的问题，现提出以下方案，包括底座，所述底座的顶部固定有移动导轨，且移动导轨的顶部连接有放置座，所述底座中间位置的上方设置有喷淋机构，且底座两侧位置的上方设置有吸盘取料机构，所述移动导轨设置有两个分别位于底座的两端，所述放置座的顶部开设有圆柱状结构的收纳槽。本发明中，使晶圆在收纳槽内完成表面薄膜、金属和污物的去除作业，避免清洗液溅射至外部造成其它部件的污染，利用抽吸管将清洗液抽回集中处理避免造成资源浪费，通过喷孔和抽吸管使收纳槽内清洗液循环流通而提高冲洗效果。