[发明专利]一种蒸发镀膜制作装置及制作蒸发镀膜的方法在审
| 申请号： | 202010323641.6 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111394700A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 宋鹏跃;彭涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发镀膜制作装置及制作蒸发镀膜的方法，包括真空腔、转盘、两基片、两挡板、转轴、蒸发中心平面；所述转盘内设在真空腔内，且转轴一端与转盘连接，转轴的另一端贯穿至真空腔外；所述两基片分别设在转盘的两侧，且所述其中一基片下设挡板；所述蒸发中心平面对应转盘内设在真空腔内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 制作 装置 方法 | ||
【主权项】：
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