[发明专利]芯片检测装置在审
| 申请号： | 202010324167.9 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111495770A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 刘军;邓雅娉 | 申请（专利权）人： | 长沙南道电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/344;B07C5/36;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 王丽娜;温春艳 |
| 地址： | 410100 湖南省长沙市经济技术开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片质量检测领域，公开了一种芯片检测装置，包括基台、真空罩、控制系统、抽真空系统和变温系统，所述控制系统包括设置于所述基台上的主控板，所述主控板包括检测区，在所述检测区内设置有用于插接待检测芯片的芯片插座，所述真空罩下端具有开口、设置为能够罩在所述检测区上并与所述检测区共同限定出密封检测空间，所述抽真空系统能够连通于所述密封检测空间并对所述密封检测空间实施抽真空，所述变温系统设置于所述密封检测空间内以用于改变所述待检测芯片的温度。在所述芯片检测装置中，通过变温系统来改变所述密封检测空间内的温度，进行芯片性能检测，真实模拟出芯片可能有的工作温度环境，提高芯片检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 检测 装置 | ||
【主权项】：
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