[发明专利]一种半导体钻孔用无刃带型PCD钻头在审

专利信息
申请号: 202010329763.6 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN111347576A 公开(公告)日: 2020-06-30
发明(设计)人: 张金贤;石锡祥 申请(专利权)人: 厦门厦芝科技工具有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02
代理公司: 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 代理人: 戚东升
地址: 361000 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种半导体钻孔用无刃带型PCD钻头,包括PCD复合材质的钻杆,钻杆的端部形成有先端角,且钻杆上仅开设有螺旋状的排屑槽形成无刃带结构。本发明在钻杆上仅开设有螺旋状的排屑槽,且不在钻杆上加工刃带,使钻杆形成无刃带结构,在一定程度上提升了钻杆的刚性强度,且在钻孔过程中,该无刃带结构的钻杆在孔洞内壁磨削过程中受力较为均匀,通过钻杆与孔壁的磨削作用使得孔壁光滑度高,无损伤层,孔壁质量大大提高,能满足半导体孔位加工高质量要求。
搜索关键词: 一种 半导体 钻孔 用无刃带型 pcd 钻头
【主权项】:
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