[发明专利]一种缺陷检测装置及其方法有效
| 申请号： | 202010335133.X | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111398295B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 赵赫 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测装置及其方法，该装置通过控制驱动电机驱动工件台沿时间延时积分相机推扫方向移动，在工件台每按预设步长移动一次，时间延时积分相机获取一幅实测待测物图像元；工件台每按预设步长移动一次，位移测量单元测量一次工件台的实际位移；控制单元用于根据所述实测待测物图像元以及所述预设步长确定标准待测物图像元，并根据当次的所述实际位移调整所述工件台下次移动的预设步长，直至所述时间延时积分相机将所述待测物扫描完成获取多个所述标准待测物图像元；依次拼接多个所述标准待测物图像元，形成标准待测物图像；并根据所述标准待测物图像对所述待测物进行缺陷检测，从而使得标准待测物图像更加清晰，更好识别待测物缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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