[发明专利]一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架有效
申请号: | 202010335935.0 | 申请日: | 2020-04-25 |
公开(公告)号: | CN111447751B | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 任春花;任春杰;白胜辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市科路迪机械设备有限公司 |
主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;C23F1/08 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 诸炳彬 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种精密蚀刻装置及其蚀刻喷淋架,其蚀刻喷淋架包括架体以及设置在架体上的喷嘴,所述喷嘴的喷淋区倾斜于架体的宽度或长度方向,所述喷嘴间隔纵横排布,相邻行或列的喷嘴错位设置,通过将喷嘴在水平方向上倾斜于横向或竖向,从而使得喷嘴喷淋区域也呈倾斜设置,进而在相邻喷嘴较近的情况下,可以良好的避免相邻喷嘴喷淋区域重叠的情况,使得线路板表面可以更加均匀的被蚀刻,而且这样在不重叠喷淋区域的情况下使得喷淋面有效增大,进而对于线路板上的液体起到推动作用,使得药液可以良好的流出减少残留存积在线路板上的情况,而且错位设置的喷嘴分布均匀度更佳,避免一个喷嘴堵塞后造成局部蚀刻特别差的现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 精密 蚀刻 装置 及其 喷淋 | ||
【主权项】:
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