[发明专利]一种结合图形匹配的OPC修正方法

摘要

本发明提供一种结合图形匹配的OPC修正方法，提供图形库，对图形库中多个图形作常规OPC，得到第一掩膜层和第一目标层；根据第一掩膜层中每个分段与第一目标层中相应分段的距离差算出每个分段的偏移值，将该偏移值对应到图形的相应分段形成数据库；输入待执行OPC的版图，以该版图中的图形层为第二目标层，通过图形对第二目标层作图形匹配，再将得到匹配的图形根据数据库做分段和偏移，形成光罩前的迭代层；以第二目标层作目标层、以光罩前的迭代层作修正层执行基于模型的OPC修正，经迭代后得到目标轮廓的第二掩膜层。本发明能通过降低基于模型的OPC修正的迭代次数，提高修正效率，来降低OPC整体的运算时间。