[发明专利]真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202010337766.4 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111349896A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 夏祥国;黄太 | 申请（专利权）人： | 深圳市乐工新技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/14 |
| 代理公司： | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人： | 李茂松 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种真空镀膜装置，包括：壳体，壳体具有真空腔；第一收放辊和第二收放辊，设置于真空腔内，其中一个用于放出未镀膜的基膜，另一个用于收绕已镀膜的基膜；第一收放辊的直径为a1；超导主动辊设置于真空腔内；超导主动辊的直径为D；靶材，靶材沿超主动辊的边缘排布，靶材的尺寸为d；导向辊靠近第一收放辊或第二收放辊设置，压紧辊靠近超导主动辊设置，张紧辊位于导向辊和压紧辊之间；压紧辊的直径为L1；第一收放辊直径a1与超导主动辊的直径D之间的比值为3/8～11/12；靶材的尺寸d与超导主动辊的直径D之间的比值为1/25～1/6；压紧辊的直径L1与超导主动辊的直径D之间的比值为3/50～1/5；本发明技术方案有利于提高镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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