[发明专利]红外探测器及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202010338053.X 申请日: 2020-04-26
公开(公告)号: CN111664950B 公开(公告)日: 2021-11-05
发明(设计)人: 姜利军;张云胜;钱良山 申请(专利权)人: 杭州大立微电子有限公司
主分类号: G01J5/52 分类号: G01J5/52;G01J5/00;G01V8/10;G01J5/10
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 孙佳胤
地址: 310053 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种红外探测器及其制备方法和应用,能够提高红外探测器的测温精度以及测定准确性。所述红外探测器,用于对被测物进行红外探测,包括标定模块,用于进行红外探测的标定,包括:密封罩,罩设于所述衬底上表面,在所述衬底上表面形成第一密闭空间;参考像元,设置于所述第一密闭空间内,用于检测红外光;辐射源,设置于所述第一密闭空间内,用于发射红外光供所述参考像元获取并检测,且所述辐射源的温度可控。
搜索关键词: 红外探测器 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
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