[发明专利]一种音叉振荡器的镀膜方法及镀膜音叉振荡器在审
| 申请号： | 202010345289.6 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111575656A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 邵杰权 | 申请（专利权）人： | 深圳市科瀚电子有限公司;深圳市峰华电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/16;G04D3/00;G04F5/04;H03H3/02 |
| 代理公司： | 深圳市徽正知识产权代理有限公司 44405 | 代理人： | 郭振媛 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及音叉晶振技术领域，尤其涉及一种音叉振荡器的镀膜方法及镀膜音叉振荡器，该方法包括：将音叉振荡器安装在真空镀膜机的蒸发槽内，对真空镀膜机抽真空；在真空环境下，通过电阻蒸发源加热钼舟在音叉振荡器的基材表面蒸镀铬层；在铬层的上方蒸镀铬铜合金层；在铬铜合金层的上方蒸镀铜银合金层；在铜银合金层的上方蒸镀银层，完成音叉振荡器基材表面的镀膜。本发明实施例其在保持镀层总厚度不变的情况下，在铬与银之间增加金属铜，可以承受高温，成本较低，不容易氧化，导电性能好，电阻较小，可以有效地降低老化率，并且其性能更稳定，有效地提高了晶振的合格率和使用寿命，同时即减小了音叉振荡器电阻值，又降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 音叉 振荡器 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
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