[发明专利]一种金属蒸发料的表面处理方法在审

专利信息
申请号: 202010346080.1 申请日: 2020-04-27
公开(公告)号: CN111394697A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;杨恕鉴 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14;C23G1/02;C23G1/10;C23G1/12;C23G5/02;B08B3/12
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种金属蒸发料的表面处理方法,所述方法包括以下步骤:将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗;将超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗,酸洗所用酸洗液为无机混合酸;将酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。本发明所述方法通过对金属蒸发料依次进行超声波清洗、酸洗,可有效去除蒸发料表面的杂质和氧化层,提高蒸发料的洁净度及纯度,纯度可达99.99%以上,有助于镀膜性能的提高;所述方法对于不同种类、形状的蒸发料均可适用,所述方法操作简单,易于工业化,所得产品合格率高。
搜索关键词: 一种 金属 蒸发 表面 处理 方法
【主权项】:
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