[发明专利]一种金属蒸发料的表面处理方法在审
申请号: | 202010346080.1 | 申请日: | 2020-04-27 |
公开(公告)号: | CN111394697A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;杨恕鉴 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14;C23G1/02;C23G1/10;C23G1/12;C23G5/02;B08B3/12 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种金属蒸发料的表面处理方法,所述方法包括以下步骤:将金属蒸发料采用有机溶剂进行超声波清洗;将超声波清洗后的金属蒸发料进行酸洗,酸洗所用酸洗液为无机混合酸;将酸洗后的金属蒸发料再次进行超声波清洗后干燥处理。本发明所述方法通过对金属蒸发料依次进行超声波清洗、酸洗,可有效去除蒸发料表面的杂质和氧化层,提高蒸发料的洁净度及纯度,纯度可达99.99%以上,有助于镀膜性能的提高;所述方法对于不同种类、形状的蒸发料均可适用,所述方法操作简单,易于工业化,所得产品合格率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属 蒸发 表面 处理 方法 | ||
【主权项】:
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