[发明专利]一种太阳能电池片镀膜装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202010348883.0 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111424265A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 梁玲;刘宝华;郭丽 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/455;C23C16/54;C23C16/50;H01J37/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池片镀膜领域。一种太阳能电池片镀膜装置，双层石英管的气体进出口端各自安装有一个法兰，气体进口段的法兰上安装有多个带阀门的工艺气体进口管，气体出口段的法兰（3）上有连接尾气处理装置的尾气管，双层石英管的气体进口端处安装有多层栅栏板，多层栅栏板（4）连接气体混合腔和镀膜腔，镀膜腔的中安装有旋转盘，镀膜腔的外侧安装有感应线圈，镀膜腔通过管路连接抽真空设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 镀膜 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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