[发明专利]一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法在审
| 申请号： | 202010349899.3 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111501026A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 居建华 | 申请（专利权）人： | 无锡思锐电子设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/511 | 分类号： | C23C16/511;C23C16/40;C23C16/455;H01L31/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 仇波 |
| 地址： | 214112 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高太阳能电池片中氧化铝薄膜质量的方法，它包括：对镀膜腔室内部进行加热并抽真空；使所述镀膜腔室内部通过微波激发形成离子体；向所述镀膜腔室内通入反应物，以在输入的硅片表面形成氧化铝薄膜；通过等间隔设置的多组U型罩以及与所述U型罩一一配合的多组气路管组向所述镀膜腔室内通入反应物。这样能够提高反应气体在U型罩内外侧分布的均匀程度，从而提高电池片中氧化铝薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 太阳能电池 片中 氧化铝 薄膜 质量 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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