[发明专利]光学芯片模组测试装置在审
申请号: | 202010356167.7 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN111398790A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 朱小刚 | 申请(专利权)人: | 苏州创瑞机电科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/067;G01R1/04;G01R3/00 |
代理公司: | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人: | 陆明耀;顾祥安 |
地址: | 215000 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明揭示了光学芯片模组测试装置,包括匹配的上模组及下模组,所述上模组包括测试探针,所述下模组包括芯片放置座,所述芯片放置座上形成有芯片放置槽,所述芯片放置座上形成正对所述芯片放置槽且与芯片放置槽的槽底连通的安装空间,所述安装空间内可平移地设置有LENS。本方案通过在芯片放置座上形成与芯片放置槽对应的安装空间,并在其内设置位置可调地LENS,从而可以根据测试要求,灵活调整LENS的水平位置,以保证镜头中心与芯片光学中心的对中精度在0.01mm以内,有利于降低误差干扰,提高测试结果的精度。 | ||
搜索关键词: | 光学 芯片 模组 测试 装置 | ||
【主权项】:
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