[发明专利]一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010363526.1 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111534800B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 文宏福;李培林 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F5/00;B22F3/02;B22F3/10;B22F3/15;B22F3/17 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 李少欢 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸钼铌平面靶材的制备方法，包括1)粉末造粒步骤、2)热等静压步骤、3)热变形步骤和清洗加工步骤。通过本发明的制备方法，制造出组织成分均匀、平均晶粒度小、含氧量低、纯度高和密度高的大尺寸靶材，本发明的制备方法制备的大尺寸靶材满足溅射靶材的镀膜要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 平面 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司，未经东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010363526.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
