[发明专利]一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法有效
| 申请号： | 202010364744.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111595408B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 严大;糜珂;李翔;黎微明;左敏 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/14 | 分类号： | G01F23/14;C23C16/54 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 万婧 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械设备领域，具体涉及一种测量恒温密闭容器内液位的设备、镀膜装置、测量液位的方法，包括前端管路，在前端管路上依次设置有第一气动阀、第二气动阀；出气端管路，在出气端管路上依次设置有第三气动阀、第四气动阀；密闭容器，与前端管路末端相连，与出气端管路上靠近第三气动阀的一端相连；压力计，设置于出气端管路上或前端管路上或密闭容器上；真空排气装置，与密闭容器连通。采用本发明的设备及测量方法，可实时、快速、准确地测量小直径的真空容器内的液位，运行可靠稳定，不会有泄漏的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 恒温 密闭 容器 内液位 设备 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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