[发明专利]蒸镀坩埚及蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010365271.2 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111549318A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 黄永振 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘葛 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。蒸镀坩埚包括坩埚本体及阻挡组件，阻挡组件可拆卸地安装于容置腔内，阻挡组件包括沿容置腔的轴向方向间隔设置的至少一个第一阻挡片及至少一个第二阻挡片；第一阻挡片设有第一流通部，第二阻挡片沿容置腔的轴向方向在第一阻挡片的正投影覆盖第一流通部；第二阻挡片与容置腔的内壁之间具有间隙。本发明提供的蒸镀坩埚及蒸镀装置，第一流通部及间隙连通形成蒸镀材料的流通路径，并且利用第一阻挡片及第二阻挡片，阻挡的大部分颗粒物质喷溅及氧化物颗粒排出的同时也将颗粒物质喷溅及氧化物颗粒收集至第一阻挡片上，提高了产品良率且方便清理。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
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