[发明专利]光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质有效
| 申请号： | 202010365433.2 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111521617B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王冰冰 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H04N17/00;H04N23/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光学检测设备、光学检测设备的控制方法及存储介质，该设备包括：运动台、离焦测量单元、摄像单元和图像处理装置，控制器用于控制离焦测量单元采集检验品表面的至少两个不同检测位置处的离焦量；控制运动台带动检验品的该至少两个不同检测位置处到达摄像单元下方时，根据该至少两个不同检测位置处的离焦量完成运动台的高度调整，同时控制摄像单元采集该至少两个不同检测位置处的图像；控制图像处理装置根据该至少两个不同检测位置处对应的离焦量和运动台的高度调整值，完成该至少两个不同检测位置处的图像的焦深修正，以及完成焦深修正后的图像的缺陷识别。解决了现有光学检测设备存在检验品的缺陷识别准确率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 设备 控制 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
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