[发明专利]一种准分子激光器绝对波长校准方法有效
| 申请号： | 202010369862.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113588101B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 殷青青;刘广义;江锐;张华;赵江山;刘海东 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种准分子激光器绝对波长校准方法，包括以下步骤：在扫描区间Δλ1内进行连续式扫描；在扫描区间Δλ2内进行步进式扫描；通过连续式扫描和步进式扫描对准分子激光器绝对波长进行校准；其中，Δλ2＜＜Δλ1。本公开采用连续式扫描和步进式扫描相结合的方式，既能在波长偏移较大时进行大范围的峰值扫描，确保能够找到吸收峰位置，又能在吸收峰附近小范围内进行精确扫描，提高了绝对波长校准的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 绝对 波长 校准 方法 | ||
【主权项】：
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