[发明专利]阵列基板的制作方法及阵列基板、显示装置

摘要

本申请公开了一种阵列基板的制作方法及阵列基板、显示装置，所述方法通过采用半色调掩膜板在光阻层上刻蚀出厚薄不一的区域，并在不同的区域制作不同尺寸的孔结构，仅需一道光罩工艺便可制作多个不同尺寸的孔结构，将现有技术中的四道光罩工艺优化为一道光罩工艺，减少了设备和材料的投入，降低了生产成本，简化了工艺工序，提高了产品竞争力。