[发明专利]体声波谐振器、滤波器、电子设备和调整机电耦合系数的方法有效
| 申请号： | 202010376103.3 | 申请日： | 2020-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN111786645B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 班圣光;庞慰;徐洋 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：所述顶电极在顶电极连接端和非顶电极连接端均具有抬高部，所述抬高部的顶面高出顶电极的内侧部分的顶面；所述内侧部分为具有多条边的凸多边形区域，所述抬高部围绕所述凸多边形区域设置而形成多边形的电极框，所述电极框包括多个框边；且所述电极框的边框在声学镜内存在横向宽度变化。本发明还涉及一种滤波器，其至少一个谐振器为上述谐振器且机电耦合系数不同于其他谐振器的机电耦合系数。本发明还涉及一种包括上述体声波谐振器或滤波器的电子设备，以及一种调整体声波谐振器的机电耦合系数的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 滤波器 电子设备 调整 机电 耦合 系数 方法 | ||
【主权项】：
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