[发明专利]边缘抛光装置及抛光吸盘垫清洗方法在审
| 申请号： | 202010383653.8 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111546236A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 胡文才;权林;张宇磊 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/06 | 分类号： | B24B55/06;B08B3/02;B08B1/02;B08B1/04;B24B41/06;B24B29/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种边缘抛光装置及抛光吸盘垫清洗方法，所述边缘抛光装置包括：抛光吸盘、安装于抛光吸盘上的抛光吸盘垫、用于将已抛光的晶圆从抛光吸盘垫上移除的机械臂以及用于在对晶圆抛光后对抛光吸盘垫进行清洗的清洗装置，清洗装置包括：用于清洗抛光吸盘垫的清洗单元，以对抛光吸盘垫进行冲洗和刷洗；以及，与清洗单元固定连接的移动单元，移动单元用于带动清洗单元移动到抛光吸盘垫上的不同位置。本发明的技术方案能够减小抛光液在抛光吸盘垫上的积累速度，进而避免在对晶圆进行边缘抛光的过程中导致晶圆的底面产生凹坑缺陷，从而避免导致晶圆的良率下降。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 抛光 装置 吸盘 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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