[发明专利]压模复制设备和生产该复制设备的保持装置及压模的方法在审
| 申请号： | 202010386392.5 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111913348A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 乌维·福格勒;富宾恩·帕利茨克;格奥尔格·芬克;克里斯蒂安·梅;加扎尔·杰拉里 | 申请（专利权）人： | 苏斯微技术光刻有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞朋;胡彬 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种生产用于生产微米结构化和/或纳米结构化部件的压模的压模复制设备(10)，其包括平台(14)、可定位在平台(14)上的盖(12)以及用于压模载体(28)的保持装置(32)，其中，保持装置(32)设置在盖(12)或平台(14)上并且包括载体(33)以及在载体(33)上的用于保持压模载体(28)的微米结构化真空表面(34)。此外，指定了一种生产用于压模复制设备(10)的保持装置(32)的方法以及一种用于生产压模的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 复制 设备 生产 保持 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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