[发明专利]一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座在审
| 申请号： | 202010392235.5 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN111441086A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 林培英;黄春立;朱佰喜 | 申请（专利权）人： | 东莞市志橙半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/40 |
| 代理公司： | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人： | 罗志伟 |
| 地址： | 520523 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于开发工艺的碳化硅石墨基座，包括主盘及多个载盘，所述主盘与所述载盘为分体式，所述载盘与所述主盘为可拆卸可安装连接。本发明的有益效果是：采用分体式设置，既能满足生产需求，也能满足工艺开发的设计调整，极大地提高了外延基座的使用效率，避免了浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 开发 工艺 碳化硅 石墨 基座 | ||
【主权项】：
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