[发明专利]喷嘴管理装置、喷嘴管理方法及涂布装置在审
| 申请号： | 202010393515.8 | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN111940256A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 近藤士朗 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | B05D3/04 | 分类号： | B05D3/04;B05C5/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 杨楷;毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种防止喷嘴前端的干燥,同时防止向基板涂布时发生涂布不均的喷嘴管理装置(30)，该喷嘴管理装置(30)具备：气体生成部(31)，生成含有从喷嘴(20)排出的涂布液(Q1)中的溶剂(Q2)的规定气体(G)；气体供给部(32)，将在气体生成部(31)生成的规定气体(G)供给至喷嘴(20)的周边区域(25)。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 管理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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