[发明专利]一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置在审
| 申请号： | 202010397352.0 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN111378949A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 沈清;李旭光 | 申请（专利权）人： | 无锡奥夫特光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置，属于高精度镀膜技术领域。所述可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置包括工件盘、镀膜夹具和光学元件；所述工件盘开有旋转空腔，所述镀膜夹具放置于所述旋转空腔中，所述镀膜夹具与所述工件盘转动连接；所述光学元件放置于所述镀膜夹具中，并通过滑动卡扣机构固定安装。该可实现光学元件面形高精度控制的镀膜装置通过电机控制旋转所述镀膜夹具既能够保证光学元件的双面受热均匀，还能保证光学元件两面的镀膜环境相同；在完成双面镀膜之后，两面光学薄膜同时应力释放，并且保持几乎完全等同的应力释放速率；在实现超高面形偏差精度的同时还能减少镀膜返工次数，降低了时间和资金成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 光学 元件 高精度 控制 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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