[发明专利]电子元件及其透明导电薄膜的制作方法在审

专利信息
申请号: 202010400387.5 申请日: 2020-05-12
公开(公告)号: CN111554432A 公开(公告)日: 2020-08-18
发明(设计)人: 卞经纬 申请(专利权)人: 无锡市伍豪机械设备有限公司
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B13/00
代理公司: 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 代理人: 姬颖敏
地址: 214161 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提出一种透明导电薄膜的制作方法,其包含下列步骤:首先提供一基底,在基底上形成透明导电薄膜,最后以铷钇铝石榴石(Nd:YAG)激光对透明导电薄膜进行激光退火处理。使用铷钇铝石榴石激光对透明导电薄膜进行退火处理,可大幅降低透明导电薄膜的的电阻值,利用铷钇铝石榴石激光替换准分子激光,可解决透明导电薄膜制作成本过高的问题。
搜索关键词: 电子元件 及其 透明 导电 薄膜 制作方法
【主权项】:
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