[发明专利]离子注入机的剂量量测系统的检测方法在审
| 申请号： | 202010401264.3 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN111668083A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 曹志伟;郑刚;张召 | 申请（专利权）人： | 华虹半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;H01L21/67;G01R19/165;G01T1/29 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 罗雅文 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种离子注入机的剂量量测系统的检测方法，涉及半导体制造领域。该方法包括设置直流电源的电流标准值；在对晶圆进行离子注入之前，通过直流电源按电流标准值向离子注入机的剂量量测系统提供测试电流；通过剂量量测系统测量直流电源提供的测试电流的电流值；检测直流电源的电流标准值与剂量量测系统测量的电流值的差值是否超出预定范围；根据检测结果确定离子注入机的剂量量测系统是否发生异常；解决了目前剂量量测系统的异常容易导致晶圆报废的问题；达到了在进行离子注入前实现剂量量测系统的自检，及时发现剂量量测系统的异常情况，避免因剂量量测系统异常导致晶圆报废的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 剂量 系统 检测 方法 | ||
【主权项】：
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