[发明专利]一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备在审
| 申请号： | 202010407986.X | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN111549375A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 谈逊;谈谦 | 申请（专利权）人： | 华厦半导体（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C30B25/08;C30B29/40 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 郭艳艳 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可量产氮化镓的全立式HPVE设备，包括立式箱体；立式箱体由上至下设置有第一生长室、第一气室、第二气室和第二生长室；第一生长室与第一气室相连通，并在其内活动设置有反应皿；第一气室和第二气室的侧壁上端均设置有若干呈倾斜状的气流喷口；且第一气室和第二气室底部分别延伸至第二生长室内的第三出气管和第四出气管。本装置能够使得在进入第二生长内的气体保持其均匀性，保证了氮化镓的均衡生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量产 氮化 立式 hpve 设备 | ||
【主权项】：
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