[发明专利]一种芯片酸洗装置在审
| 申请号： | 202010414266.6 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111584401A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 郭志锋 | 申请（专利权）人： | 郭志锋 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 325000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片酸洗装置，其结构包括有其结构包括有顶盖、芯片置放旋转机构、酸洗机体、酸洗液排放管，所述酸洗机体顶部铰链连接有顶盖，所述酸洗机体设有芯片置放旋转机构，所述酸洗机体一侧底部连通有酸洗液排放管,与现有技术相比，本发明的有益效果在于：能够放置待酸洗的芯片，而芯片是一片片为独立放置的，能够避免芯片叠放出现面积重叠，提高芯片与酸洗液的接触面积，有助于提高酸洗效率及效果，在酸洗过程中芯片是可以以转轴为轴旋转而，使芯片与酸洗水产生对抗力，更利于酸洗水对芯片的酸洗，芯片的酸洗更加充分，清洗完后，弹簧的拉伸便于支撑块松开已经酸洗后的芯片，便于芯片全部倒出，无须再一片一片拿取。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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