[发明专利]研磨垫修整装置在审
| 申请号： | 202010417602.2 | 申请日： | 2020-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN111571444A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 丁彦荣;杨涛;张月;卢一泓;刘青 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B53/02;B24B53/14 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 陈晓瑜 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种研磨垫修整装置，包括：调节臂；以及两个或两个以上修整盘，与所述调节臂连接；所述两个或两个以上修整盘分别用于对所述研磨垫不同区域的表面进行修整。本发明的研磨垫修整装置采用多个修整盘对研磨垫的表面进行修整，能够对整个研磨垫的表面进行持续修整，提高工艺的再现性和散布性，并且能够延长研磨垫的使用周期。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司，未经中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010417602.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：蛋白无针皮下注射
- 下一篇：一种基于谵妄动态预测模型的谵妄风险监测方法及系统
