[发明专利]一种三维存储器及制造方法在审

专利信息
申请号: 202010426181.X 申请日: 2020-05-19
公开(公告)号: CN111564469A 公开(公告)日: 2020-08-21
发明(设计)人: 赵宇航;左青云;李铭 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: H01L27/22 分类号: H01L27/22
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;张磊
地址: 201210 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种三维存储器,包括:形成在衬底上的多层水平导电电极,以及形成在所述水平导电电极之间的隔离介质层;所述水平导电电极之间竖直设有两个多层存储层,两个所述多层存储层的内侧设有竖直导电电极,所述水平导电电极连接两个所述多层存储层的外侧,所述竖直导电电极连接两个所述多层存储层的内侧,所述多层存储层的外侧存储层被所述隔离介质层所隔断。本发明与CMOS工艺兼容,能够有效提升存储器密度,降低成本,有利于推广应用。本发明还公开了一种三维存储器制造方法。
搜索关键词: 一种 三维 存储器 制造 方法
【主权项】:
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