[发明专利]一种三维存储器及制造方法在审
申请号: | 202010426181.X | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN111564469A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 赵宇航;左青云;李铭 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L27/22 | 分类号: | H01L27/22 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;张磊 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种三维存储器,包括:形成在衬底上的多层水平导电电极,以及形成在所述水平导电电极之间的隔离介质层;所述水平导电电极之间竖直设有两个多层存储层,两个所述多层存储层的内侧设有竖直导电电极,所述水平导电电极连接两个所述多层存储层的外侧,所述竖直导电电极连接两个所述多层存储层的内侧,所述多层存储层的外侧存储层被所述隔离介质层所隔断。本发明与CMOS工艺兼容,能够有效提升存储器密度,降低成本,有利于推广应用。本发明还公开了一种三维存储器制造方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 存储器 制造 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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