[发明专利]设备操作方法和基板处理设备在审
| 申请号： | 202010428847.5 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN111986973A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 田边伸章 | 申请（专利权）人： | ASMIP私人控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 焦玉恒 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种设备操作方法的示例包括：向反应器室的内部提供气体，以对反应器室的内部中的基板执行处理；以及在将基板装载到反应器室/从反应器室卸载基板期间，不经由反应器室而将等离子体提供给与反应器室连通的排出管线或与排出管线连通的干式泵，以执行排出管线和干式泵中的至少一个的清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 操作方法 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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