[发明专利]使用边缘冲洗的衬底基座

摘要

一种工件基座主体可包含：正面，其配置成支撑工件；背面，其与所述正面相对；工件接触区域，其在所述正面的内部部分上至少部分地形成支撑边界；以及多个轴向通道，其安置在所述基座主体内。所述工件接触区域能够安置成在径向上从以处理配置定位在所述正面上的工件的外边缘朝内。所述多个轴向通道中的每一个能够连接到延伸到所述正面的外部部分中的对应开口。所述开口中的每一个能够安置成在径向上从所述基座主体的所述工件接触区域朝外。