[发明专利]晶圆ID读取装置有效
| 申请号： | 202010440485.1 | 申请日： | 2020-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN111723591B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 陈夏薇;郭剑飞;姚建强;陈思乡 | 申请（专利权）人： | 杭州长川科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G06K7/10 | 分类号： | G06K7/10;B25B11/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 赵洁修 |
| 地址： | 310051 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆ID读取装置，其包括第一光源、第二光源、对应于所述第一光源的第一反光组件、对应于所述第二光源的第二反光组件、选择组件以及成像组件，其中：所述第一光源与所述第二光源的发光方向相反，以分别向晶圆两侧照射光线；所述第一反光组件能够将晶圆一侧表面反射的光线反射至所述成像组件；所述第二反光组件能够将晶圆另一侧表面反射的光线反射至所述成像组件；所述选择组件包括活动部件，所述活动部件活动设置于所述晶圆ID读取装置，并能够选择将所述第一反光组件和所述第二反光组件中一者反射的光线反射至所述成像组件，上述晶圆ID读取装置在整个晶圆ID读取过程无需对晶圆进行翻转，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 id 读取 装置 | ||
【主权项】：
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